ION Implantation and Other Applications of Ions and Electrons : XIII-th International Conference Kazimierz Dolny, June 27-30, 2022 - Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej; Politechnika Lubelska; Polskie Towarzystwo Fizyczne
Keywords: implementacja jonów; inżynieria materiałowa; wiązki elektronowe; wiązki jonowe