@misc{Turek_Marcin_Thermal, author={Turek, Marcin and Droździel, Andrzej and Pyszniak, Krzysztof and Węgierek, Paweł}, howpublished={online}, publisher={Politechnika Lubelska}, language={eng}, type={artykuł}, title={Thermal desorption of argon implanted into gallium arsenide}, keywords={arsenek galu, imlpementacja jonów, desrporpcja termiczna}, }